用于晶圆检测和计量的超精密花岗岩底座

1. 卓越的材料科学：ZHHIMG®黑色花岗岩

与标准花岗岩，或者更糟糕的是，与一些不择手段的制造商使用的低等级大理石不同，ZHHIMG 底座完全由我们专有的 ZHHIMG® 黑色花岗岩制成。

● 超强密度：我们的材料密度高达 ≈ 3100 kg/m³，优于欧洲和美洲的许多传统黑色花岗岩。

● 热稳定性：高密度和极低的吸水率确保了优异的尺寸稳定性，从而大大降低了关键检测周期中热漂移的影响。

● 振动阻尼：天然矿物结构提供出色的内部阻尼，对于隔离敏感光学元件和传感器与外部振动至关重要。

2. 无可比拟的制造和组装能力

我们对精准的承诺可以用我们的核心信念来概括：“精准行业对精准的要求再高也不为过。”

● 精湛工艺：我们的底座由经验丰富的技师手工研磨，其中许多技师拥有超过 30 年的经验，能够实现纳米级的表面平整度和平行度——精度由雷尼绍激光干涉仪和 WYLER 电子水平仪验证。

● 受控环境：机械加工和最终组装均在我们10,000平方米的温湿度控制洁净室内进行（模拟严格的半导体制造环境）。该洁净室拥有1000毫米厚的混凝土基础和2000毫米深的防震沟槽，确保了计量环境的绝对稳定。

3. 集成精密设计（如图所示）

底座通常以复杂组件的形式提供，通常包括：

● L 形/龙门架结构：设计用于支撑成像头的垂直运动（Z 轴），确保正交性和几何精度。

● 精密槽和嵌件：预加工表面带有螺纹钢嵌件和精密定位销孔，用于安装气浮轴承、线性电机（XY 工作台）、视觉系统和导轨（THK、HIWIN、Rexroth）。

● 定制化：我们专注于大规模加工，能够提供长度达 20 米、重量达 100 吨的整体式花岗岩底座，并可根据您的设备范围进行精确定制。