精密花岗岩是半导体光刻元件的最佳材料吗？

由于其无磁性、高刚性和近乎零热膨胀，精密花岗岩是确保光刻和计量中纳米级精度的必要材料。

非磁性和化学稳定性

在半导体制造的高强度电磁环境中，花岗岩成分由于花岗岩不具磁性，因此可防止干扰。此外，花岗岩化学性质稳定，不会释放气体或产生颗粒物，因此非常适合 ISO 1 级洁净室环境。

极限物理刚度和抗蠕变性

ZHHIMG选用的高密度黑色花岗岩具有极高的硬度。在长期负载下，它几乎不会发生物理蠕变，为XY平台提供永久稳定的基底，并确保多年运行中始终如一的定位精度。

热膨胀的自然优势

半导体工艺对温度极其敏感。花岗岩的低热膨胀系数能够抵消精密电机产生的热量。结合我们高精度的加工工艺，确保元件在不同的工作温度下都能保持其几何形状的完整性。

材料性能矩阵

常见问题解答：精密花岗岩

1. 为什么选择“黑色”花岗岩？与灰色花岗岩相比，黑色花岗岩密度更高、吸水率更低、稳定性更好。

2. 你们提供哪些精度等级的产品？我们生产的产品最高可达DIN 876 000级标准。

3. 最大尺寸是多少？ZHHIMG 可加工长度达 12 米的单件产品。

4. 如何保养花岗岩部件？使用专用的中性清洁剂，并避免接触酸性物质。

5. 你们可以钻孔安装嵌件吗？是的，我们提供不锈钢嵌件的精密钻孔和二次粘接服务。

6. 它适合真空环境使用吗？当然适合，天然花岗岩在真空条件下不会释放气体。