花岗岩材料因其优异的特性，例如高稳定性、低热膨胀系数和高耐腐蚀性，而被广泛应用于半导体行业。这些特性使花岗岩成为晶圆传输系统中高精度元件制造的理想材料。
在半导体制造过程中，晶圆传送系统在晶圆跨制造流程的各个阶段的运输中起着至关重要的作用。精度和准确度是这些系统的基本要求，因为即使是微小的偏差也可能危及整个流程。因此，晶圆传送系统中的组件必须采用优质材料制成，而花岗岩恰好符合这些标准。
晶圆传送系统中一些由花岗岩材料制成的部件包括：
1. 真空吸盘工作台
真空吸盘工作台用于在加工过程中固定晶圆，其表面必须稳定，以确保晶圆不受损坏。花岗岩是制作这种工作台的理想材料，因为它具有平整、无孔的表面，能够提供高稳定性和高精度。此外，花岗岩的热膨胀系数低，使其能够抵抗可能导致晶圆尺寸变化的温度变化。
2. 气浮平台
气浮平台用于在制造过程的各个阶段输送晶圆。该平台经过精心设计，可实现无摩擦运动，因此需要极高的精度和稳定性。花岗岩因其坚硬的质地和优异的抗变形和抗磨损性能，被广泛应用于此领域。
3. 直线运动导轨
直线导轨用于引导气浮平台，其定位必须非常精确，以最大程度地减少误差。该导轨采用花岗岩制造，因为花岗岩具有优异的机械稳定性和强度。此外，花岗岩还具有耐腐蚀性，从而确保了导轨系统的使用寿命。
4. 计量设备
计量设备用于在制造过程中测量晶圆的尺寸和特性。花岗岩是制造此类设备的理想材料，因为它具有高刚度、低膨胀系数和极小的负载变形。此外，花岗岩的热稳定性确保了计量设备能够长期保持稳定和精确。
总之，半导体行业对精度要求极高，而花岗岩材料在制造过程中已被证明具有极高的可靠性和稳定性。由于晶圆传输系统中的许多关键部件都需要高稳定性、高精度和低热膨胀系数，工程师们纷纷采用花岗岩材料来满足这些关键要求。
发布时间：2024年3月19日