在竞争激烈的先进显示器制造领域，市场领先地位与被淘汰之间的差距往往取决于一个因素：精度。低温多晶硅 (LTPS) 阵列（高分辨率、高性能 OLED 和 LCD 屏幕的基础）的制造和检测对精度要求极高，几乎达到了工程技术的极限。而实现如此超高的精度，首先要从设备本身的物理基础做起。因此，为 LTPS 阵列设备选择花岗岩底座，不仅仅是一种设计选择，更是一项基本要求。
低温多晶硅阵列制造工艺，特别是激光结晶以及后续的光刻和沉积步骤，对环境噪声极其敏感，包括细微的振动和温度变化。即使在控制最严格的洁净室环境中，微小的变化也会对阵列的良率和均匀性产生严重影响。检测阶段——由高度精密的设备执行，以确保每个晶体管完美成型——对结构完整性的要求更高。而这正是 Granite 平板显示器低温多晶硅阵列检测设备的卓越优势所在。
低温性能系统检测的热力学和动力学必要性
低温多相半导体（LTPS）技术能够提高电子迁移率，从而制造出更小、更高效的晶体管，并最终实现刷新率惊人、功耗更低的显示器。然而，其涉及的结构非常微观，尺寸以微米计。为了使复杂的检测设备能够精确定位、测量和分析缺陷，其操作平台必须几乎静止不动且尺寸不变。
铸铁或钢等传统材料虽然坚固耐用，但其本身就容易发生热膨胀。普通钢材的热膨胀系数（CTE）远高于黑花岗岩。这意味着环境温度即使仅升高一两度，也会导致钢制机械结构发生更为剧烈的膨胀和收缩。在阵列检测中，这种热漂移会导致位置误差、光路错位，以及潜在的读数不准确，从而可能导致合格面板被拒收或缺陷面板被接收。
相反，使用专为LTPS阵列设备设计的花岗岩机床平台，可提供热膨胀系数极低的平台。这种热稳定性确保了机器的关键几何形状——测量传感器与LTPS基板之间的距离——保持恒定，从而实现对质量控制至关重要的、一致且可重复的亚微米级测量。
无与伦比的振动阻尼和刚度
除了热稳定性之外，花岗岩固有的材料特性使其在应对动态力和振动方面具有显著优势。先进的检测系统采用高速平台和精密的扫描机构，这些机构会产生微小的机械运动和振动。这些内部力，加上来自空气处理机或邻近机械的外部噪声，必须迅速消除，以防止运动模糊或读数不稳定。
花岗岩极高的内部阻尼能力至关重要，它能比金属更快地耗散振动能量。它如同一个被动减震器，确保机器在每次运动后都能迅速恢复到完全静止的状态。此外，花岗岩的高弹性模量和高密度也造就了极其坚固的结构，最大限度地减少了重型龙门系统、光学组件和真空室等部件重量造成的静态变形。
本质上，通过为低温多晶硅阵列（LTPS Array）应用选择精密加工的花岗岩机台，工程师们构建了一个热稳定性好、噪音低、结构坚固的基础。这三项特性对于实现现代LTPS显示器制造所需的产量和良率目标至关重要。
源于自然的完美工程
最终产品——花岗岩机床底座——与粗糙的采石场石料截然不同。它是计量学的杰作，其加工精度通常达到微米级甚至亚微米级。采用特殊工艺确保花岗岩消除应力并达到绝对平整。这种高度精炼的天然材料为所有后续的机械和光学校准提供了最终的参考平面。
对于低温多相太阳能电池阵列设备制造商而言，采用高精度花岗岩可确保其设备持续高效运行，从而直接转化为更高的产量和更高质量的显示产品，最终惠及消费市场。这充分证明，当工程技术追求绝对完美时，地球上最稳定的天然材料无疑是最可靠的解决方案。
发布时间：2025年12月3日