花岗岩平台作为精密测量和加工的参考工具，其精度维护直接影响产品质量。以下提供一套系统的维护方案，涵盖环境控制、日常维护和专业校准，以确保平台长期保持纳米级精度。
1. 环境控制：构建精准防护屏障
温度和湿度管理
工作环境温度需稳定在20±1℃。温度每波动1℃，花岗岩平台就会产生0.5-1μm/m的热变形。车间内可安装恒温系统，防止空调出风口直接吹向平台。
湿度应控制在 40% 至 60% 之间。湿度过高容易导致金属部件生锈，而湿度过低则可能导致静电干扰测量。
隔振
平台应远离冲压机、铣床等振动源。建议与振动设备保持3米以上的距离。
如果振动无法避免，可以在平台底部安装空气弹簧减震器，以减少环境振动对平台平整度的影响（可减少 80% 以上的外部振动）。
2. 日常维护：从清洁到防护的精细控制
表面清洁规范
除尘：每天用鹿皮布或不起毛的布沿同一方向擦拭表面，以防止灰尘颗粒（≥5μm）刮伤平台。顽固污渍可用无水乙醇（纯度≥99.7%）轻轻擦拭。切勿使用丙酮等强力溶剂。
除油：如果接触到油渍，用稀释的中性清洁剂擦拭，然后用去离子水冲洗并风干，以防止矿物油渗入平台的微小孔隙。
负载和碰撞保护
平台的承载能力应控制在额定载荷的 70% 以内（例如，对于 1000kg 的平台，建议载荷 ≤700kg），以避免因局部过载而造成永久变形。
严禁敲击平台上的工件。操作工具时，请佩戴软手套，防止尖锐物体划伤表面（深度超过20μm的划痕会影响反射光路的测量）。
3. 专业校准：科学保持精度的核心
校准周期设置
常规使用场景：每季度校准一次，并使用激光干涉仪检测平面度（精度为±0.5μm/m）。
高频使用或恶劣环境：每月进行校准，重点监测温度敏感区域（例如靠近热源的平台边缘）。
校准后处理
如果发现平面度偏差（例如 > ±1μm/m），必须由专业技术人员使用 W1.5 微粉进行研磨修复。严禁自行使用砂纸研磨。
校准后，应记录并存档数据，并建立平台精度衰减曲线，以便提前预测维护需求。
4. 存储和运输：避免隐性精度损失
长期存储的关键点
存放时，应使用防潮防尘罩盖好。底部应由三点支撑（支撑点位于平台长度的 2/9 处），以防止重力造成的弯曲变形（1 米长的平台长期单点支撑可能会下垂 0.3μm）。
定期（每月）调整平台支撑点的位置，以避免长期局部压力。
运输保护计划
短途运输：用吸震泡沫包裹，固定在刚性框架内，并将加速度保持在 2g 以内。
长途运输：需真空包装并充入干燥氮气。到货后，应静置24小时待温度达到平衡后再拆封，以防止冷凝水影响精度。
5. 故障预测：早期问题识别技术
目视检查：定期使用 40 倍放大镜观察表面。如果发现连续划痕或光泽度显著下降，则可能表明精度下降。
声音检测：轻轻敲击平台。如果声音变得沙哑（正常情况下应该是清晰的声音），则内部可能存在微裂纹。请立即停止使用进行检测。
通过这套维护系统，ZHHIMG®花岗岩平台可保持±1μm/m的平整度长达10年，是未妥善维护平台精度寿命的三倍以上。实践证明，某半导体工厂采用该方案后，平台校准频率降低了50%，每年节省维护成本超过15万元。
发布时间：2025年6月18日