为什么晶圆加工产品用花岗岩机座选择花岗岩而不是金属

在晶圆加工产品的生产过程中，机器底座与其他部件一样重要。坚固稳定的底座对于确保加工过程的准确性以及防止敏感部件损坏至关重要。虽然金属是机器底座的常见选择，但花岗岩因其独特的性能而日益受到青睐。以下是一些花岗岩比金属更适合用作花岗岩机器底座的原因。

1.稳定性和刚度

花岗岩的密度和刚度远高于大多数金属，这意味着它具有更好的抗振动和抗移动能力。这在晶圆加工应用中尤为重要，因为即使是微小的振动或移动也可能导致成品不准确或出现缺陷。花岗岩的稳定性和刚度使其成为要求极高精度的机器底座的理想材料。

2. 耐温度变化

花岗岩相较于金属的主要优势之一是其能够承受温度变化。这在晶圆加工过程中至关重要，因为晶圆加工过程中的温度可能会发生显著波动。与会随温度变化而膨胀或收缩的金属不同，花岗岩能够保持其形状和尺寸，从而确保可靠且稳定的性能。

3. 耐用性和长寿命

花岗岩是目前最坚硬的材料之一，具有极强的耐磨性、抗撕裂性和抗损伤性。因此，它是制造需要承受重载或频繁使用的机器底座的理想材料。即使使用多年，花岗岩机器底座仍能保持其稳定性、刚度和精度，提供始终如一、可靠的性能。

4.非磁性

与金属不同，花岗岩不具有磁性，这在晶圆加工应用中至关重要，因为磁干扰可能会造成严重损坏。花岗岩机床底座可确保加工环境中不存在磁场，从而降低干扰风险并提高加工过程的精度。

5.易于维护和清洁

花岗岩易于清洁和维护，这对于清洁度至关重要的晶圆加工应用至关重要。与金属不同，花岗岩不会腐蚀、生锈或失去光泽，这意味着它几乎不需要维护和清洁。定期清洁和维护将确保机器保持最佳性能，并在较长的使用寿命内提供精确可靠的加工。

总而言之，虽然金属一直是机器底座的传统选择，但花岗岩因其独特的性能正日益成为备受欢迎的替代品。相比金属底座，选择花岗岩机器底座具有诸多优势，包括稳定性、刚度、耐温度变化性、耐用性、非磁性以及易于维护。如果您的晶圆加工应用注重精度、可靠性和使用寿命，那么花岗岩绝对值得考虑。