为什么晶圆加工设备用花岗岩机座选择花岗岩而不是金属

花岗岩因其独特的性能，例如高刚度、低热膨胀和卓越的减震特性，是制造机器底座（尤其适用于晶圆加工设备）的理想材料。虽然传统上金属一直被用作机器底座的材料，但花岗岩由于以下原因而成为一种更佳的替代品：

高刚度：机器底座需要坚固稳定，以最大限度地减少振动并在晶圆加工过程中保持精度。花岗岩具有较高的刚度重量比，使其具有极高的刚性和稳定性，从而减少振动并确保出色的加工精度。

低热膨胀系数：温度变化会导致金属膨胀或收缩，从而导致机床底座尺寸变化，进而影响加工精度。而花岗岩的热膨胀系数较低，这意味着它不会因温度变化而发生太大的膨胀或收缩，从而确保加工的稳定性和精度。

卓越的减震性能：振动是机床的常见问题，它会导致尺寸误差、表面光洁度问题，甚至机器部件的过早磨损。花岗岩以其卓越的减震性能而闻名，这意味着它能够吸收和抑制振动，确保加工过程平稳、精确。

耐化学性：晶圆加工过程中会使用各种化学品，长期暴露于这些化学品会导致机器底座腐蚀和性能下降。花岗岩具有极强的耐化学腐蚀性，使其成为晶圆加工设备中机器底座安全耐用的材料选择。

维护成本低：花岗岩维护成本低，易于清洁，不会像金属那样腐蚀或生锈。这意味着维护成本更低，设备停机时间更短。

总体而言，选择花岗岩而非金属作为晶圆加工设备的机器底座具有诸多优势，包括高刚度、低热膨胀、卓越的减震性能、优异的耐化学性和低维护成本。这些优势确保机器底座保持稳定、精确和耐用，从而实现高质量的晶圆加工并提高生产效率。