为什么晶圆加工设备产品选择花岗岩而不是金属作为花岗岩机座？

花岗岩是制造机器底座的理想材料，尤其适用于晶圆加工设备，因为它具有高刚度、低热膨胀系数和优异的减振性能等独特特性。虽然金属一直是机器底座的常用材料，但由于以下原因，花岗岩已成为一种更优越的替代品：

高刚度：机床底座需要具备高刚性和稳定性，以最大限度地减少振动，并在晶圆加工过程中保持精度。花岗岩具有极高的刚度重量比，使其极其坚固稳定，从而降低振动，确保卓越的加工精度。

低热膨胀系数：温度变化会导致金属膨胀或收缩，从而引起机床底座尺寸变化，进而导致加工精度下降。而花岗岩的热膨胀系数很低，这意味着它受温度变化的影响很小，能够确保加工的稳定性和精度。

卓越的减振性能：振动是机床加工中常见的问题，会导致尺寸误差、表面光洁度问题，甚至造成机床部件过早磨损。花岗岩以其优异的减振性能而闻名，这意味着它可以吸收和抑制振动，从而确保加工过程平稳、精准。

耐化学腐蚀性：晶圆加工过程中会使用各种化学品，长期接触这些化学品会导致机器底座腐蚀和性能下降。花岗岩具有极强的耐化学腐蚀性，因此是晶圆加工设备底座安全耐用的理想材料。

维护成本低：花岗岩几乎无需维护，易于清洁，且不会像金属那样腐蚀或生锈。这意味着更低的维护成本和更少的设备停机时间。

总体而言，晶圆加工设备的底座选用花岗岩而非金属具有诸多优势，包括高刚度、低热膨胀系数、优异的减震性能、卓越的耐化学腐蚀性和低维护成本。这些优势确保了底座的稳定性、精确性和耐用性，从而实现高质量的晶圆加工和更高的生产效率。