花岗岩因其优异的热稳定性和机械强度,是半导体器件衬底的常用材料。花岗岩的热膨胀系数(TEC)是决定其是否适用于这些应用的重要物理性质。
花岗岩的热膨胀系数约为 4.5 - 6.5 x 10^-6/K。这意味着温度每升高 1 摄氏度,花岗岩床就会膨胀这么多。虽然这看起来变化很小,但如果处理不当,可能会对半导体器件造成严重问题。
半导体器件对温度变化极其敏感,任何微小的温度波动都会影响其性能。因此,器件所用材料的热膨胀系数(TEC)必须低且可预测。Granite 的低热膨胀系数能够确保器件散热稳定,从而保证温度保持在所需范围内。这一点至关重要,因为过高的温度会损坏半导体材料,缩短其使用寿命。
花岗岩之所以成为半导体器件床层的理想材料,另一个重要原因是其机械强度。由于半导体器件经常受到物理振动和冲击,花岗岩床层能够承受巨大的应力并保持稳定至关重要。温度波动引起的材料膨胀和收缩也会在器件内部造成应力,而花岗岩在这些条件下保持形状的能力可以降低损坏和失效的风险。
总之,花岗岩床层的热膨胀系数对半导体器件的性能起着至关重要的作用。通过选择热膨胀系数低的材料,例如花岗岩,芯片制造设备制造商可以确保器件稳定的热性能和可靠的运行。正因如此,花岗岩被广泛用作半导体行业的床层材料,其在保证器件质量和使用寿命方面的重要性不容忽视。
发布时间:2024年4月3日
