XYT花岗岩底座精密主动隔振运动平台常见的应用场景有哪些？

半导体制造
光刻：光刻是半导体制造的关键工序，需要将复杂的电路图案精确转移到晶圆上。位于花岗岩基座上的XYT精密主动隔振运动平台，可以为光刻设备提供稳定的支撑和精准的定位，确保曝光过程中晶圆台面的位置精度达到纳米级，有效降低因振动和热变形引起的图案偏差，提高芯片的制造精度和良率。

晶圆检测：晶圆制造完成后，需要进行高精度的检测，以发现微小的缺陷和瑕疵。XYT精密主动隔振运动平台可搭载电子束显微镜、原子力显微镜等检测设备，在检测过程中保持运动稳定、定位准确，使检测设备能够精确扫描晶圆表面，提高检测分辨率和精度。
光学仪器制造
镜片研磨抛光：在光学镜片的制造过程中，需要对镜片进行高精度的研磨抛光，以获得良好的光学性能。XYT精密主动隔振运动平台可以精确控制研磨抛光工具的运动轨迹，同时花岗岩底座可以隔离外界振动，降低振动对加工精度的影响，确保镜片表面的平整度和光洁度达到设计要求。
光学系统装配：在光学系统的装配过程中，各种光学元件需要精确地安装在特定的位置，以保证光线的准确传播和成像质量。XYT精密主动隔振运动平台采用花岗岩底座，可为光学元件的安装和调整提供稳定的平台，并通过精确的运动控制实现光学元件的高精度调准与装配。
航天

惯性导航系统试验：惯性导航系统是航空航天领域重要的导航设备，其精度直接影响飞行器的导航精度和飞行安全。在惯性导航系统试验过程中，需要采用高精度转台模拟飞行器的各种运动状态。XYT精密主动隔振运动平台可作为转台的支撑平台，通过精确的运动控制和良好的隔振性能，为惯性导航系统试验提供稳定、准确的运动环境，提高试验精度和可靠性。
航空发动机叶片加工：航空发动机叶片的加工精度对发动机的性能和效率有着重要的影响。XYT精密主动隔振运动平台可应用于五轴联动加工中心等叶片的加工过程中，通过精确控制刀具的运动轨迹，维持稳定的加工环境，实现叶片的高精度加工，确保叶片型面精度和表面质量满足设计要求。
科学研究测试
纳米科学研究：在纳米科学研究中，需要对纳米尺度的物体进行操作和观察，例如纳米材料的制备、纳米器件的组装等。XYT精密主动隔振运动平台的花岗岩基座可提供亚微米甚至纳米级的定位精度，为纳米科学研究提供稳定、精准的实验平台，帮助科学家更好地探索纳米世界的奥秘。
生物医学成像：在生物医学领域，例如荧光显微镜、共聚焦显微镜等成像设备，为了获得高分辨率的生物图像，需要对样本进行精确定位和稳定成像。XYT精密主动隔振运动平台可以承载生物样本，通过精确的运动控制和良好的隔振性能，减少样本的振动和漂移，提高成像质量和精度，帮助生物医学研究人员对细胞、组织等微观结构进行深入研究。