采用花岗岩底座的单轴气浮超精密运动模组的应用领域。

半导体制造：在芯片制造过程中，光刻工艺需要将电路图案精密地转移到晶圆上。单轴气浮超精密运动模组的花岗岩底座可以为光刻设备中的晶圆台面提供高精度定位和稳定的支撑。例如，ASML等国际知名光刻机厂商在其高端设备中均采用花岗岩底座气浮运动模组，可以将晶圆的定位精度控制在纳米级，确保光刻图案的精度，从而提高芯片的集成度和性能。
精密测量领域：坐标测量机（CMM）是工业生产中常用的精密测量设备，用于测量工件的尺寸、形状和位置精度。花岗岩基座上的单轴气浮超精密运动模块可作为坐标测量机的运动平台，实现高精度直线运动，并为测量测头提供稳定的运动轨迹。例如，海克斯康的高端坐标测量机就采用此组合对大型复杂零件进行测量，测量精度可达微米级，为汽车、航空航天等行业的零件质量控制提供有力保障。
航空航天领域：在航空航天零部件的加工和检测中，对精度要求较高。例如，航空发动机叶片的加工需要精确控制刀具的运动轨迹，保证叶片的轮廓精度。单轴气浮超精密运动模块的花岗岩底座可应用于五轴加工中心等设备，为刀具提供高精度的运动控制，保证叶片的加工精度达到设计要求。同时，在航空发动机的装配过程中，也需要采用高精度的测量设备对零部件的装配精度进行检测。花岗岩底座的气浮运动模块可以为测量设备提供稳定的支撑和精确的运动，保证装配质量。
光学检测领域：在光学元件的制造和检测过程中，需要对光学元件进行高精度的定位与测量。例如，在制造反射镜、透镜等高精度光学元件时，需要利用干涉仪等设备检测其面形精度。单轴气浮超精密运动模组的花岗岩基座可作为干涉仪的运动平台，实现亚微米级的定位精度，为光学元件的检测提供精准的数据支持。此外，在激光加工设备中，也需要采用高精度的运动平台来控制激光束的扫描轨迹，气浮超精密运动模组的花岗岩基座可以满足这一要求，实现高精度的激光加工。