采用花岗岩底座的单轴气浮式超精密运动模块的应用领域。

半导体制造：在芯片制造过程中，光刻工艺需要将电路图案精确地转移到晶圆上。单轴气浮式超精密运动模块的花岗岩底座可为光刻设备中的晶圆台提供高精度定位和稳定支撑。例如，ASML等国际知名光刻机制造商在其高端设备中均采用花岗岩底座气浮式运动模块，能够将晶圆定位精度控制在纳米级，从而保证光刻图案的精度，进而提高芯片的集成度和性能。
精密测量领域：三坐标测量机（CMM）是工业生产中常用的精密测量设备，用于测量工件的尺寸、形状和位置精度。单轴气浮式超精密运动模块安装在花岗岩底座上，可作为CMM的运动平台，实现高精度直线运动，并为测量探头提供稳定的运动轨迹。例如，海克斯康的高端CMM就采用这种组合，能够以微米级的测量精度测量大型复杂零件，为汽车、航空航天等行业的零件质量控制提供了强有力的保障。
航空航天领域：航空航天零部件的加工和检测对精度要求极高。例如，飞机发动机叶片的加工需要精确控制刀具的运动轨迹，以确保叶片轮廓的精度。单轴气浮式超精密运动模块的花岗岩底座可应用于五轴加工中心等设备，为刀具提供高精度运动控制，确保叶片的加工精度满足设计要求。同时，在航空发动机的装配过程中，也需要使用高精度测量设备来检测零件的装配精度。花岗岩底座的气浮式运动模块可为测量设备提供稳定的支撑和精确的运动，从而保证装配质量。
光学检测领域：在光学元件的制造和测试过程中，需要对光学元件进行高精度定位和测量。例如，在制造高精度光学元件（如反射镜和透镜）时，需要使用干涉仪等设备来检测其表面形状精度。单轴气浮式超精密运动模块的花岗岩底座可用作干涉仪的运动平台，实现亚微米级的定位精度，并为光学元件的检测提供精确的数据支撑。此外，在激光加工设备中，也需要使用高精度运动平台来控制激光束的扫描轨迹，气浮式运动模块的花岗岩底座能够满足这一要求，从而实现高精度激光加工。