该定位平台是一款高精度、花岗岩底座、气浮定位平台，适用于高端定位应用。它由无铁芯、无齿槽的三相无刷直线电机驱动，并由5个悬浮在花岗岩底座上的磁预紧式平面气浮轴承导向。
由于无铁芯线圈组件运行平稳、无齿槽效应，因此被用作平台的驱动机构。线圈和工作台组件的轻量化设计使其能够实现轻负载的高加速度。
用于支撑和引导有效载荷的气浮轴承悬浮在气垫之上。这确保了系统中不存在易损件。与机械轴承（例如滚珠和滚柱）在高加速度下会发生滑动而非滚动不同，气浮轴承不受加速度限制。
舞台花岗岩底座的刚性横截面确保了有效载荷能够在平坦、笔直、稳定的平台上运行，无需任何特殊的安装考虑。
可以在舞台上添加伸缩比为 12:1 的风箱（折叠式导气罩）。
移动式三相线圈组件、编码器和限位开关的电源通过屏蔽扁平带状电缆传输。特别注意将电源线和信号线彼此隔离，以减少噪声对系统的影响。线圈组件的电源线和一条用于客户有效载荷电源的空置电缆安装在舞台的一侧，编码器信号线、限位开关信号线以及另一条用于客户有效载荷信号的空置信号线则安装在舞台的另一侧。所有连接器均为标准配置。
定位平台采用了最新的线性运动技术：
电机：非接触式三相无刷直线电机，无铁芯，采用霍尔效应进行正弦或梯形换向。封装式线圈组件运动，多极永磁体组件保持静止。轻量化的线圈组件可实现轻型有效载荷更高的加速度。
轴承：采用磁预紧式多孔碳或陶瓷气浮轴承实现直线导向；顶面3个，侧面2个。轴承安装在球面上。必须向ABS平台移动工作台供应清洁、干燥的过滤空气。
编码器：非接触式玻璃或金属光栅尺光学线性编码器，带有用于归位的参考标记。提供多个参考标记，沿光栅尺长度方向每隔 50 毫米分布一个。典型的编码器输出为 A 和 B 方波信号，但也可选配正弦波输出。
限位开关：行程两端均设有行程限位开关。这些开关可以是高电平有效（5V 至 24V）或低电平有效。它们可用于关闭放大器或向控制器发出错误信号。限位开关通常是编码器的组成部分，但如有需要，也可以单独安装。
电缆载体：电缆导向采用扁平屏蔽带状电缆。另提供两条未使用的屏蔽扁平带状电缆供客户在舞台上使用。舞台和客户有效载荷的两条电源线安装在舞台的一侧，编码器、限位开关和客户有效载荷的两条信号线则分别安装在舞台的另一侧。
硬限位：舞台两端设有硬限位装置，以防止伺服系统故障时舞台过度移动而造成损坏。
优势：
优异的平整度和直线度规格
最低速度波纹
无磨损部件
用风箱封闭
应用领域：
拣选和放置
视觉检查
零件转移
洁净室
发布时间：2021年12月29日