晶圆传送系统的哪些部分使用花岗岩材料？

花岗岩材料因其高稳定性、低热膨胀和高耐腐蚀性等优异特性，广泛应用于半导体行业。这些特性使花岗岩成为制造晶圆传送系统中高精度组件的理想材料。

在半导体制造过程中，晶圆传送系统在晶圆的制造工艺各个阶段的传输过程中起着至关重要的作用。精密度和准确度是这些系统的基本要求，因为即使是微小的偏差也可能危及整个工艺。因此，晶圆传送系统中的组件必须采用高质量材料制成，而花岗岩正好符合这些标准。

晶圆传送系统的一些部件由花岗岩材料制成，包括：

1. 真空吸盘台

真空吸盘台用于在工艺过程中固定晶圆，其表面必须稳定，以确保晶圆不受损坏。花岗岩是制作真空吸盘台的理想材料，因为它表面平整、无孔，能够提供高稳定性和高精度。此外，花岗岩的热膨胀系数较低，能够耐受可能导致晶圆尺寸变化的温度变化。

2. 空气轴承级

空气轴承台用于在制造工艺的各个阶段运送晶圆。该台的设计旨在实现无摩擦运动，从而需要高精度和稳定性。本应用中使用的花岗岩质地坚硬，不易变形和磨损。

3.直线运动导轨

直线运动导轨用于引导空气轴承平台，必须精确定位以最大程度地减少误差。该导轨采用花岗岩制造，因为它具有出色的机械稳定性和强度。这种材料还具有耐腐蚀性，确保了导轨系统的使用寿命。

4.计量设备

计量设备用于在制造过程中测量晶圆的尺寸和特性。花岗岩是制造此类设备的理想材料，因为它具有高刚度、低膨胀率以及在负载下极小的变形。此外，花岗岩的热稳定性可确保计量设备长期保持稳定和精确。

总而言之，半导体行业依赖于精密度和准确度，而花岗岩材料已被证明在制造过程中具有高度的可靠性和稳定性。由于晶圆传送系统中的许多关键部件需要高稳定性、高精度和低热膨胀，工程师们已转向使用花岗岩材料来满足这些关键要求。