在半导体和光电制造设备中，花岗岩主要应用在哪里。

在半导体和光电制造设备中，花岗岩主要应用于精密运动平台、导轨基座、隔振支撑结构、光学元件安装基板等关键部件。这些部件对精度、稳定性和环境耐受性要求极高。花岗岩的特性恰好能够满足半导体和光电行业的严苛要求。以下是具体应用场景和优势的分析：
一、主要应用部分
精密运动平台（如光刻机、键合机的晶圆平台）
它用于承载晶圆、光学镜头等精密部件，实现纳米级精度的平移和旋转运动。
典型设备：光刻机工件台、测量设备定位平台。
导轨底座及框架结构
作为直线导轨、气浮导轨的安装基础，支撑设备的核心运动机构。
典型设备：半导体封装设备机械框架、光学检测仪器。
隔振支撑及稳定结构
它用于隔离外部振动（例如来自工厂车间或设备运行期间的振动），确保光学系统或精密机械的稳定性。
典型场景：光学显微镜、激光干涉仪的底座支撑。
光学元件安装基板
固定反射镜、棱镜、激光器等光学装置，保证光路系统对位精度的长期稳定性。
典型设备：光电封装设备、光纤耦合系统。