花岗岩主要应用于半导体和光电子制造设备中。

在半导体和光电子制造设备中，花岗岩主要用于精密运动平台、导轨底座、隔振支撑结构和光学元件安装基板等关键部件。这些部件对精度、稳定性和环境耐受性要求极高。花岗岩的特性能够精准满足半导体和光电子行业的严格要求。以下是对具体应用场景和优势的分析：
一、主要应用部件
精密运动平台（例如光刻机和键合机的晶圆平台）
它用于承载晶圆和光学透镜等精密部件，实现纳米级精度的平移和旋转运动。
典型设备：光刻机的工件工作台、测量设备的定位平台。
导轨底座和框架结构
作为直线导轨和气浮导轨的安装基础，它支撑着设备的核心运动机构。
典型设备：半导体封装设备的机械框架和光学检测仪器。
隔振支撑和稳定结构
它用于隔离外部振动（例如工厂车间或设备运行过程中产生的振动），从而确保光学系统或精密机械的稳定性。
典型应用场景：为光学显微镜和激光干涉仪提供基础支持。
光学元件安装基板
固定镜子、棱镜和激光器等光学器件，以确保光路系统对准精度的长期稳定性。
典型设备：光电封装设备、光纤耦合系统。