在半导体晶圆制造领域，基材的选择直接影响设备的精度和产量。一些不法供应商将大理石冒充天然花岗岩，以次充好。掌握两者的鉴别方法是确保晶圆设备稳定运行的关键。本文从四个主要维度解析两者的区别，助您避免落入劣质替代品的陷阱。
一、密度与硬度：最直观的物理“身份证”
天然花岗岩：密度2600-3100kg/m³，莫氏硬度6-7，敲击声音清脆。ZHHIMG®选用的黑色花岗岩密度超过3000kg/m³，可承受1000kg/m²以上的均匀荷载。
大理石：密度仅为2500-2700kg/m³，硬度为3-5，敲击时声音沉闷。用硬币轻轻刮擦表面，大理石易留下痕迹，而花岗岩几乎不会受损。
二、结构特征：显微镜下的“瑕疵”
天然花岗岩：由石英、长石等矿物颗粒紧密交织构成，孔隙率小于0.5%，超声波检测无明显内部缺陷。
大理石：主要成分为碳酸钙，晶体结构疏松，孔隙率为1-3%，易吸水膨胀。在晶圆设备的高温环境下，大理石基座可能因热胀冷缩造成±5μm以上的精度偏差。
三、性能测试：实战中的“魔镜”
四、真伪溯源：可靠的“身份证明”
正规花岗岩基地：提供ISO9001质量认证及SGS矿物成分检测报告，可追溯矿脉产地（如济南黑、山东黑、印度黑）。
劣质替代品：没有权威认证，或者含糊地描述为“花岗岩材料”，实际上是染色大理石，无法提供详细的测试数据。
避免陷阱指南：确保高质量基础的三个技巧
检查证书：要求供应商提供密度、硬度、热膨胀系数的测试报告；
测试性能：模拟晶圆设备的运行环境，测试底座在振动、温度变化下的稳定性；
选择品牌时优先考虑ZHHIMG®等通过ISO三体系认证的厂家，避免小作坊的低价陷阱。
发布时间：2025年6月10日