在半导体晶圆制造领域，基材的选择直接影响设备的精度和生产良率。一些不法供应商将大理石冒充天然花岗岩，以次充好。掌握二者的鉴别方法是保证晶圆设备稳定运行的关键。本文将从四个主要方面分析二者的区别，帮助您避免落入劣质替代品的陷阱。
一、密度和硬度：最直观的物理“身份识别卡”
天然花岗岩：密度为2600-3100kg/m³，莫氏硬度为6-7，敲击时声音清脆。ZHHIMG®选用的黑色花岗岩密度超过3000kg/m³，可承受超过1000kg/m²的均匀荷载。
大理石：密度仅为2500-2700千克/立方米，硬度为3-5，敲击时声音沉闷。如果用硬币轻轻刮擦表面，大理石容易留下痕迹，而花岗岩几乎不会受损。
二、结构特征：显微镜下的“缺陷”
天然花岗岩：由石英和长石等矿物颗粒紧密交织而成，孔隙率小于0.5%。超声波检测显示无明显内部缺陷。
大理石：其主要成分为碳酸钙，晶体结构疏松，孔隙率为1-3%，易吸水膨胀。在晶圆设备的高温环境下，大理石基底可能因热胀冷缩而导致精度偏差超过±5μm。
三、性能测试：实战中的“魔镜”
四、认证与可追溯性：可靠的“身份证明”
正式花岗岩底座：提供 ISO 9001 质量认证和 SGS 矿物成分测试报告，并可追溯矿脉来源（如济南黑、山东黑、印度黑）。
低质量替代品：没有权威认证，或者含糊地描述为“花岗岩材料”，实际上是染色大理石，无法提供详细的测试数据。
避免陷阱指南：确保高质量基础的三大技巧
检查证书：要求供应商提供密度、硬度和热膨胀系数的测试报告；
测试性能：模拟晶圆设备的运行环境，测试基座在振动和温度变化下的稳定性；
在选择品牌时，优先选择像 ZHHIMG® 这样通过 ISO 三体系认证的制造商，以避免落入小型作坊的低价陷阱。
发布时间：2025年6月10日