在半导体制造领域，亚微米精度是保证芯片性能的关键，而（ZHHIMG®）花岗岩底座凭借其材料特性、精密加工和创新设计，成为实现这一精度的核心保障。
从材料特性来看，中海重工®选用的黑色花岗岩密度约为3100kg/m³，内部结构致密，高密度赋予其优异的稳定性和刚性。半导体设备运行过程中，电机的转动、设备内部机械部件的运动都会产生振动，花岗岩底座能够有效吸收90%以上的振动能量，显著降低振动对设备精度的影响。同时，其极低的热膨胀系数使其在环境温度波动时变形量保持在很小的范围内，为半导体设备提供稳定的支撑基础，防止设备部件因温度变化而发生位移，从而影响精度。
在加工制造方面，ZHHIMG®工厂采用国际先进的加工设备，拥有四台超大型磨床（单台价值超过50万美元），可对花岗岩进行高精度研磨。通过五轴联动数控加工等工艺，机座平面度可达纳米级，为半导体设备的安装提供超平整的基准面，确保设备各部件的精准定位。此外，占地10000平方米的恒温恒湿车间为加工提供了稳定的环境。四周500mm宽、2000mm深的防振沟槽，以及静音起重机，有效隔离外界振动干扰，确保机座的加工精度。
此外，ZHHIMG® 还拥有强大的定制化能力。针对半导体设备的特殊要求，可预制精密的安装孔和走线架，实现设备与底座的完美兼容。同时，结合德国Mahr分钟规（精度达0.5um）、瑞士WYLER电子水平仪等世界一流的计量检测设备，对机座进行严格的检测和校准，确保每一台机座都能满足半导体设备对亚微米级精度的严苛要求。
正是这些优势的结合，使得ZHHIMG®花岗岩底座成为半导体设备实现亚微米精度的可靠选择，助力半导体制造向更高精度领域迈进。
发布时间：2025年6月18日