花岗岩XY阶段应用

垂直精密电动平台（Z轴定位器）
垂直线性平台种类繁多，从步进电机驱动平台到压电Z轴柔性纳米定位器，应有尽有。垂直定位平台（Z轴平台、升降平台或升降机平台）广泛应用于聚焦、精密定位和对准等领域，在高端工业和科研应用中往往扮演着至关重要的角色，例如光学、光子学对准和半导体测试。所有这些XY平台均采用花岗岩制造。
与安装在支架上的垂直平移台相比，专用的 Z 轴平台具有更好的刚度和直线度，并且可以完全接触到要定位的样品。

多种选择：各种不同的 Z 轴平台，从低成本的步进电机单元到高精度升降平台，配备闭环电机和线性编码器，可实现直接位置反馈。

超高精度
真空兼容型线性定位平台。