在半导体制造车间，芯片制造工艺对环境条件和设备精度的要求极其苛刻，任何微小的偏差都可能导致芯片良率的显著下降。XYZT精密龙门运动平台采用花岗岩部件，与其他平台部件协同工作，为实现纳米级精度奠定了坚实的基础。
优异的减振性能
在半导体制造车间，外围设备的运行和人员走动都可能引起振动。花岗岩部件内部结构致密均匀，具有天然的高阻尼特性，如同高效的振动“屏障”。当外部振动传递到XYZT平台时，花岗岩部件能够有效衰减80%以上的振动能量，降低振动对平台运动精度的干扰。同时，平台还配备了高精度气浮导向系统，与花岗岩部件协同工作。气浮导向系统利用高压气体形成的稳定气膜，实现平台运动部件的非接触式悬浮运动，从而降低机械摩擦引起的微小振动。两者共同作用，确保平台在芯片光刻、蚀刻等关键工艺中始终保持纳米级定位精度，避免振动导致芯片电路图案偏差。
优异的热稳定性
车间内温湿度的波动对芯片制造设备的精度影响很大。花岗岩的热膨胀系数极低，一般在5-7×10⁻⁶/℃，因此在温度变化时尺寸几乎不变。即使车间昼夜温差或设备发热导致环境温度波动，花岗岩部件也能保持稳定，防止平台因热胀冷缩而变形。同时，平台配备的智能温控系统实时监测环境温度，自动调节空调和散热设备，将车间温度维持在20℃±1℃。结合花岗岩优异的热稳定性，确保平台在长期运行中，各轴的运动精度始终满足芯片制造的纳米级精度标准，从而保证芯片光刻图案尺寸精确、刻蚀深度均匀。
满足清洁环境的需求
半导体制造车间需要保持高度洁净，以防止灰尘颗粒污染芯片。花岗岩材料本身不产生灰尘，且表面光滑，不易吸附灰尘。整个平台采用全封闭或半封闭结构设计，有效减少外部灰尘进入。内部空气循环系统与车间的洁净空调系统相连，确保内部空气洁净度达到芯片制造所需的标准。在这种洁净环境下，花岗岩组件不会因灰尘侵蚀而影响性能，平台上的高精度传感器和电机等关键组件也能稳定运行，为芯片制造提供持续可靠的纳米级精度保障，助力半导体行业迈向更高工艺水平。
发布时间：2025年4月14日