花岗岩床需要定期更换吗？它的使用寿命是多久？

花岗岩台面是许多半导体设备的关键部件，它为晶圆加工提供平整稳定的表面。其耐用性和长寿命使其成为制造商的热门选择，但需要定期维护才能保持最佳状态。

首先，值得注意的是，花岗岩是一种天然材料，具有极强的耐磨性。它密度高、孔隙率低，因此不易腐蚀和变形。这意味着，只要维护得当，花岗岩床铺可以使用多年而无需更换。

然而，即使花岗岩基座具有良好的韧性，随着时间的推移，它仍然会受到损坏，尤其是在暴露于强腐蚀性化学物质或极端温度的情况下。因此，定期检查和清洁至关重要，以确保其表面保持光滑，无任何可能影响晶圆加工的缺陷。

就使用寿命而言，只要保养得当，花岗岩床可以使用多年。确切的使用寿命取决于多种因素，例如所用花岗岩的质量、磨损程度以及维护保养的频率。

一般来说，大多数半导体设备制造商建议每 5-10 年更换一次花岗岩台面，或者当出现明显的磨损迹象时就应更换。虽然这个更换频率看似很高，但考虑到晶圆加工所需的高精度和高准确度，这一点至关重要。花岗岩表面的任何缺陷都可能导致成品出现误差或不一致，从而造成严重的经济损失。

总之，花岗岩台面是半导体设备中的关键部件，只要维护得当，就能使用多年。虽然可能需要每5-10年更换一次，但投资购买最高品质的花岗岩并定期维护，对于确保晶圆加工的最佳性能和精度而言是值得的。