高精度花岗岩机座能否提升晶圆开槽机的性能？

在半导体制造领域，晶圆开槽机在晶圆上创建精确沟槽方面发挥着至关重要的作用。这些机器的性能会受到显著影响。
这取决于机床底座的选择。高精度花岗岩机床底座，例如 ZHHIMG® 提供的底座，在这方面已成为颠覆性的产品。
精确开槽的稳定性
在晶圆开槽过程中，稳定性至关重要。花岗岩密度高达约 3100 kg/m³，可提供极其稳定的基底。在开槽过程中，切割刀具会对晶圆施加力。像花岗岩这样的稳定​​底座能够确保晶圆夹持机构牢固就位。这种稳定性最大限度地减少了晶圆的任何不必要的移动或振动，从而使切割刀具能够高精度地开槽。相反，稳定性较差的基底材料可能会导致晶圆发生轻微位移，从而造成开槽过宽、过窄或不直，这会严重影响最终半导体器件的功能。

振动阻尼以实现平稳运行
振动是任何机械加工过程中固有的问题，晶圆开槽也不例外。晶圆开槽机中刀具的高速旋转会产生振动。如果这些振动不能得到有效抑制，会导致晶圆边缘崩边、槽深不均匀以及表面光洁度差。花岗岩具有优异的减振性能。其天然结构由相互交错的矿物颗粒组成，如同天然的减震器。当振动发生时，能量会在花岗岩内部耗散，从而减少对晶圆和刀具的冲击。这使得切割过程更加平稳，刀具寿命更长，并最终获得更高质量的晶圆开槽。
热阻确保结果一致
半导体制造工厂通常在受控环境中运行，但仍可能存在轻微的温度波动。花岗岩的热膨胀系数极低。这意味着，在晶圆开槽过程中，即使温度发生轻微变化（无论是由于切削刀具产生的热量还是环境温度的变化），花岗岩机床底座也不会发生显著的膨胀或收缩。在晶圆开槽工艺中，精度公差达到微米甚至纳米级，热致尺寸变化可能会造成灾难性的后果。花岗岩的热稳定性有助于保持机床部件的对准，从而确保开槽工艺长期保持精确性和一致性。
经久耐用，可长期使用
晶圆开槽机在半导体大批量生产中持续运行。机器底座承受着机械应力、摩擦和偶尔的冲击。花岗岩的高硬度和耐磨性使其成为长期使用的理想材料。它能够承受日常运行的严苛考验，而不会出现明显的磨损或变形。这种耐用性减少了因底座问题而导致的频繁更换或昂贵的维护需求。此外，花岗岩具有化学惰性，这意味着它能够抵抗半导体制造工艺中使用的化学物质的腐蚀，从而进一步延长其使用寿命。
总之，高精度花岗岩机座确实能够提升晶圆开槽机的性能。花岗岩机座具有稳定性强、减震、耐温差大、经久耐用等优点，有助于实现更精准、高效、可靠的晶圆开槽作业。在考虑升级或购置晶圆开槽设备时，选择配备高精度花岗岩机座的机器（例如ZHHIMG®的产品）是明智之举，能够显著提高半导体制造的质量和生产效率。