花岗岩平台作为精密测量和加工的基准工具，其精度维护直接影响生产质量。以下提供涵盖环境控制、日常维护和专业校准的系统维护方案，确保平台长期保持纳米级精度。
1.环境管控：构筑精准防护屏障
温湿度管理
工作环境温度需稳定在20±1℃。每1℃的波动将导致花岗岩平台0.5-1μm/m的热变形。车间可安装恒温系统，避免空调出风口直吹平台。
湿度应控制在40%~60%之间，湿度过高容易造成金属部件生锈，湿度过低容易造成测量中的静电干扰。
隔振
平台应远离冲压机、铣床等振动源，建议与振动设备保持3米以上的距离。
若无法避免振动，可在平台底部安装空气弹簧减震器，减少环境振动对平台平整度的影响（可减少外界振动80%以上）。
2. 日常维护：从清洁到防护的细致把控
表面清洁规范
除尘：每天用鹿皮或不起毛的布沿同一方向擦拭表面，防止灰尘颗粒（≥5μm）刮伤平台。顽固污渍可用无水乙醇（纯度≥99.7%）轻轻擦拭。切勿使用丙酮等强溶剂。
除油：若接触到油污，可用稀释的中性清洁剂擦拭，再用去离子水冲洗、风干，以免矿物油渗入平台的微小毛孔。
负载和碰撞保护
平台承重应控制在额定载荷的70%以内（例如1000kg的平台，建议载荷≤700kg），避免局部超载造成永久变形。
严禁敲击平台上的工件，操作工具时，请佩戴软手套，防止尖锐物体划伤表面（深度大于20μm的划痕会影响反射光路的测量）。
3. 专业校准：科学保持精度的核心
校准周期设置
常规使用场景：每季度校准一次，使用激光干涉仪检测平整度（精度±0.5μm/m）。
高频使用或恶劣环境：每月校准，重点监测温度敏感区域（如靠近热源的平台边缘）。
校准后处理
若发现平面度偏差（如＞±1μm/m），必须由专业技师用W1.5微粉进行研磨修复，严禁自行用砂纸研磨。
校准后应记录并存档数据，并建立平台精度衰减曲线，提前预测维护需求。
4. 储存和运输：避免隐藏的精度损失
长期储存的要点
存放时应加盖防潮、防尘罩，底部采用三点支撑（支撑点位于平台长度的2/9处），防止因重力而产生弯曲变形（1米平台长期单点支撑可能下垂0.3μm）。
定期（每月）移动平台支撑点的位置，以避免长期局部受压。
运输保护计划
短距离运输：用减震泡沫包裹，固定在刚性框架内，并将加速度保持在2g以内。
长途运输：需真空包装并充干燥氮气，到货后需静置24小时待温度达到平衡后方可开箱，防止冷凝水影响精度。
5. 故障预测：识别早期问题的技术
目视检查：定期用40倍放大镜观察表面。如果发现连续的划痕或光泽度明显下降，则可能表明精度下降。
声音检测：轻敲平台。如果声音变得嘶哑（正常情况下声音应该清晰），则内部可能存在微裂纹。请立即停止使用并进行检测。
通过该维护体系，ZHHIMG®花岗岩平台10年内可保持±1μm/m的平面度，比未得到妥善维护的平台精度寿命提高三倍以上。实践证明，某半导体厂采用该方案后，平台校准频率降低了50%，每年节省维护费用15万多元。
发布时间：2025年6月18日